ASM：以立式炉管赋能More-than-Moore市场

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文章摘要

半导体制造设备中，炉管设备在芯片制造流程中扮演着不可或缺的角色。炉管设备主要用于集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等领域的芯片制造，其形态主要分为卧室炉、立式炉和快速升温炉三种。其中，立式炉因其占地面积小、温度控制精确，成为广泛应用的高效加热设备。

ASM作为一家拥有50多年历史的半导体设备公司，自20世纪70年代初以来，一直在立式炉管领域深耕。ASM的产品涵盖原子层沉积（ALD）、化学气相沉积（CVD）、Si和外延（Epitaxy）等多个领域，立式炉管是其核心产品之一。ASM的立式炉管方案在芯片生产中表现出色，特别是在批量处理晶圆方面，显著提高了生产效率并降低了单片晶圆的生产成本。立式炉管不仅能够实现高质量的薄膜沉积，还可在保证生产效率的同时节约成本。

ASM的立式炉管设备采用了双腔体设计，进一步提升了生产效率。随着对功率器件、IGBT和电动汽车需求的增加，More-than-Moore（MtM）市场对相关沉积技术的需求也随之上升。自2020年以来，ASM扩展其立式炉管产品组合，以满足MtM市场快速增长的需求。ASM目前在立式炉管领域主要提供两条产品线：A400 DUO和SONORA。

A400 DUO是面向8英寸及以下晶圆处理的立式炉管解决方案，其反应器采用双舟设计，最大化吞吐量，同时极大减少维护需求，适合大批量生产。A400 DUO的历史可以追溯到1993年，经过多年的持续创新，ASM在2020年对其进行了全面升级，推出了A400 DUO。新设备采用了全新的软件系统、硬件架构和反应器技术。

SONORA立式炉管则是ASM最新一代面向12英寸晶圆处理的立式炉管解决方案，专为需要兼顾成本、效益、性能的MtM应用而设计，助力提升MtM功率器件的生产效率。ASM的立式炉管反应器具备许多独特能力，得益于独特的反应器设计，产品在硅基沉积市场获得了客户的广泛认可。

展望未来，ASM将继续聚焦于薄膜沉积领域和反应器技术，推动新的产品和技术发展，包括化学工艺、反应器设计，以及对温度和工艺控制的改进等。通过选择性增长策略，ASM将持续扩展立式炉管的产品组合，特别是在中国，立式炉管技术为功率器件、IGBT和电动汽车市场的增长提供了支持。